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真空燒結(jié)爐遇到以下三種情況可采取的應(yīng)急措施!

發(fā)布時(shí)間:2019-10-22 點(diǎn)擊次數(shù):3699

真空燒結(jié)爐主要用于半導(dǎo)體元器件及電力整流器件的燒結(jié)工藝,可進(jìn)行真空燒結(jié),氣體保護(hù)燒結(jié)及常規(guī)燒結(jié),是半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備系列中一種新穎的工藝裝備,它設(shè)計(jì)構(gòu)思新穎,操作方便,結(jié)構(gòu)緊湊,在一臺(tái)設(shè)備上可完成多個(gè)工藝流程。亦可用于其他領(lǐng)域內(nèi)的真空熱處理,真空釬焊等工藝。接著跟俺一起看看真空燒結(jié)爐遇到以下三種情況可以采取的應(yīng)急措施。

真空燒結(jié)爐

一、停電  


1、停電時(shí),如果斷水,應(yīng)立即接通備用的冷卻水,接通水源。  


2、如果在非升溫、加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)如需要較長(zhǎng)時(shí)間,則將設(shè)備保持原狀。  


3、如果正在加熱和冷卻時(shí),能夠盡快恢復(fù)時(shí),重新啟動(dòng)設(shè)備,如果需要較長(zhǎng)時(shí)間時(shí),則保持原狀,讓設(shè)備自然冷卻下來(lái)。 


二、加熱電源掉電  


1、水壓低,當(dāng)水壓低于0.15MPa,壓力表報(bào)警。  


2、接地故障。  


3、真空放電,水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固,與反射屏絕緣要好。  


4、若爐內(nèi)壓力為13.3-66.5Pa時(shí)(此真空度容易發(fā)生放電)。電源出現(xiàn)故障,掉電的原因可以認(rèn)為由于電介質(zhì)擊穿而引起的放電。  


三、充氣氣體停止  


1、抽真空開(kāi)始前,氣體充入時(shí)間長(zhǎng)或者無(wú)法充入時(shí),請(qǐng)確認(rèn)氣體管路是否被堵塞。  


2、如氣體管路沒(méi)問(wèn)題,檢查電磁閥及氣體充氣閥的動(dòng)作,為了安全與其相關(guān)聯(lián)的設(shè)備要全部停止后再進(jìn)行檢查。


3、向真空室內(nèi)充氣不能停止的情況下,泄壓閥動(dòng)作如泄壓閥動(dòng)作時(shí),要關(guān)閉氣體供給閥及配管在內(nèi)的所有氣體系統(tǒng)。  


4、確認(rèn)氣體充氣配管是否有漏氣的地方,如有會(huì)影響制品質(zhì)量。

真空燒結(jié)爐石墨模具/治具

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