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石墨舟表面粗糙度對鍍膜有影響嗎?

發(fā)布時間:2019-11-14 點擊次數(shù):3427

通過廠家對石墨舟清洗配方實驗對比對鍍膜均勻性的影響,得出數(shù)據(jù)顯示適當(dāng)增加酸洗、水洗時間,利于鍍膜均勻性的改善,顯微鏡觀察,不同的清洗配方對石墨舟表面的微觀形貌會有一定的差異化,主要區(qū)別在于肉眼無法觀察的一些細(xì)小氮化硅顆粒物的殘留導(dǎo)致石墨舟表面的平整性、粗糙度存在差異在3D顯微鏡狀態(tài)下測試的氮化硅殘留區(qū)域與非氮化硅殘留區(qū)域微觀形貌及粗糙度,數(shù)據(jù)顯示氮化硅殘留區(qū)域,粗糙度整體均值Sa 為3,5um明顯高于正常區(qū)域粗糙度Sa為2,8um且氮化硅與石墨舟本身導(dǎo)電性存在較大差異性。進而對鍍膜均勻性存在一定的影響。

石墨舟

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