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石墨舟狀態(tài)對(duì)鍍膜均勻性的影響

發(fā)布時(shí)間:2020-08-09 點(diǎn)擊次數(shù):4241

將新石墨舟及使用超過3 年的舊石墨舟飽和后進(jìn)行PECVD鍍膜,片間均勻性差異如圖7 所示。由圖7 可知,新石墨舟表面平整度好,石墨舟片導(dǎo)電性一致,薄膜分子可以均勻地沉積在硅片表面,片間均勻性更優(yōu)。圖8 為新石墨舟在使用周期內(nèi)的片間均勻性變化趨勢圖。

新舊石墨舟鍍膜后的片間均勻性對(duì)比

新石墨舟使用周期內(nèi)片間均勻性變化



   新石墨舟飽和后在沉積時(shí)仍有部分等離子體在石墨舟片上沉積,運(yùn)行次數(shù)小于30 次時(shí),隨著運(yùn)行次數(shù)的增加,石墨舟片上沉積的等離子體減少,片間均勻性越佳。運(yùn)行次數(shù)大于30 次后,隨著使用次數(shù)的增加,石墨舟片內(nèi)壁與硅片接觸邊緣處薄膜變厚,電場反而變強(qiáng),發(fā)生更多的等離子沉積,易出現(xiàn)不同程度的邊緣發(fā)白現(xiàn)象,導(dǎo)致片間均勻性逐次變差。

PECVD真空鍍膜載具用石墨舟

石金科技生產(chǎn)的PECVD石墨舟作為鍍膜最常用的工藝,被廣泛用于半導(dǎo)體、太陽能電池片的生產(chǎn)過程中。作為硅片的載體,石墨是最理想的材料,對(duì)表面鍍膜的均勻性、色差等產(chǎn)生至關(guān)重要的作用,要求其有高純度、耐腐蝕、極好的抗彎強(qiáng)度和良好的導(dǎo)電性能。



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