太陽能電池片(鍍膜)PECVD石墨舟的作用是什么？

石墨舟作為鍍膜工藝生產(chǎn)時正常硅片的我載體，結(jié)構(gòu)中有很多具有一定間隔的舟片，而在兩個相鄰舟片之間有一個距離很窄的空間，空門兩側(cè)則放置硅片。

因石墨舟的材料石墨具有良好的導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能，在兩個相鄰舟片間通交流電壓，使得兩個相鄰舟片形成正負(fù)極，當(dāng)在腔室中有一定的氣壓和氣體時，在兩個舟片之間就發(fā)生輝光放電，輝光放電可分解空間中的引SiH4和NH3氣體，形成Si和N的離子，相結(jié)合形成SiNx分子，沉積在硅片表面，達(dá)到其鍍膜目的。

石墨舟作為太陽能電池片鍍減反射膜時的一種載體，其結(jié)構(gòu)和大小直接影響硅片的轉(zhuǎn)化效率和生產(chǎn)效率，經(jīng)過多年的技術(shù)研究和發(fā)展，我司現(xiàn)擁有先進(jìn)的生產(chǎn)設(shè)備、技術(shù)成熟的設(shè)計(jì)人員和經(jīng)驗(yàn)豐富的生產(chǎn)員工，且材料均為進(jìn)口原料，目前我司所制造的石墨舟具有結(jié)構(gòu)簡單、石墨舟片距離合理，使得硅片的鍍膜均勻、提高硅片的品質(zhì)，使得太陽能轉(zhuǎn)化效率高。石金公司有現(xiàn)在市場需要的所有類型石墨舟

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